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匀胶机/旋涂仪EZ6

匀胶机/旋涂仪EZ6

EasyCoater6匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至6英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,4.3寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。EZ6匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。

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    上海 上海 静安区
是否进口:否加工定制:否品牌: Schwan
型号:EZ6订货号:EZ6货号:EZ6
测量范围:100-12000rpm工作电压:220V外形尺寸:358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)

匀胶机/旋涂仪EZ6详细介绍

应用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

 

EasyCoater 6匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至6英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,4.3寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。EZ6匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。

EZ6匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,且能够升级自动点胶功能,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。

该款产品已在老款型号上进行了升级,外型进行了变化,转速及加速度得到了提高,真空腔进一步改善从而不易堵胶。

 

产品性能参数:

?支持wafer尺寸:1cm-150mm6"圆晶)

?速度可调范围:100-12000rpm

?加速度可调范围:100-30000rpm/s

?单步旋涂时间:3000s

?时间分辨率:0.1s

?转速分辨率:1rpm

?可编程1010步程序

?宽电压输入:AC100-230V,中英文界面可选

 

产品特性优点:

?100W 直流无刷电机,单片机控制

?4.3”全彩触摸屏,简单易用

?系统中英文界面可转换

?带一只自动点胶端口,可升级自动点胶功能

?HDPE 内腔,SUS 外壳,耐溶剂PC 透明盖

?真空互锁及盖子开关互锁安全功能

?防堵胶功能设计(双真空腔设计)

 

产品外型尺寸:

  358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)


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